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洁净工作台的性能应符合哪些规定?
2021-09-16 浏览次数:296
参数名称 |
技术要求 |
单位 |
性能参数 |
扫描检漏 |
大气尘或人工尘 |
粒/L |
≤3 |
DOP法检漏,穿透率 |
% |
≤0.01 |
|
引射作用 |
大气尘或人工尘,下游离子浓度(&驳别;0.5um) |
粒/L |
≤10 |
DOP法检漏,穿透率 |
% |
≤0.01 |
|
平均风速 |
单向流洁净工作台操作区平均风速 |
m/s |
0.2~0.5 |
不均匀度 |
风速的相对标准偏差 |
% |
≤20 |
进风风速 |
进风口设在洁净工作台操作人员腿部的进风口平均风速 |
m/s |
≤1 |
风量 |
非单向流洁净工作台的换气次数 |
h-1 |
60~120 |
非单向流洁净工作台额定风量的波动范围 |
% |
±20 |
|
空气洁净度 |
操作区的洁净度级别 |
级 |
洁净度5级(HEPA)
优于洁净度5级(ULPA) |
沉降菌浓度 |
操作区台面平均菌落数(只对用于生物洁净用途的工作台有此要求) |
cfu/(皿.0.5h) |
≤0.5 |
噪声 |
前壁板水平中心向外300mm,且高于地面1.1m处的整机噪声 |
dB |
≤65 |
照度 |
操作区台面上的平均照度(无背景照明) |
lx |
≥300 |
振动幅度 |
操作区台面几何中心的垂直净振幅 |
um |
≤5 |
气流状态 |
操作空间垂直气流试验(垂直单向流洁净工作台) |
— |
气流流线应垂直于台面或出风面,不得有死角和回流 |
操作空间水平气流试验(水平单向流洁净工作台) |
— |
气流流线应平行于台面或出风面,不得有死角和回流 |